美国康宁Corning Tropel Flatmaster 100平坦度仪也成为平面度测量仪、平整度仪等，为精密部件的制造商提供了业界的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据。Flatmaster 100平面度仪能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行精密测量。
Tropel Flat master 100平整度仪产品特点：
- 无接触和无损伤测量
- 适用多种类型材料：半导体，金属，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料
- 适用多种类型晶片：硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂
- 适用多种类型表面：研磨表面，抛光面，光滑面
Tropel Flat master 100平面度仪可测量多种不同指标：
- 厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓
- 完整的分析系统：
- 三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度
- 可以实现自动、快速、准确、稳定的测量
- 过15年的工业应用，全球几百台的装机量
Flat master 100平面度仪技术参数：
• 度：50nm （2.0μ″）
• 重复性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
• 分辨率：5nm （0.2μ″）
• 可测量工件尺寸：25mm-100mm（更小工件也可提供）
• 动态测量范围：>100um
• 测量数据点：230000 / measurement
• 测量时间：5秒
• 电源：～220V 50Hz
