测量机类型

桥式                     悬臂式       龙门式

测量范围mm

700x700x700～12000x3500x2500

白光光斑直径

9-35µm

测量精度

非光洁表面：±10µm 光洁表面：±2µm

分辨率

0.2µm

聚焦距离

80毫米

重复性

0.5µm（高）

采样速度

70 点/秒

测量速度

坐标测量模式：＞3点/秒

扫描模式：＞70点/秒

对于叶片的单一截面测量，仅需45秒