取样长度     

0.025 / 0.08 / 0.25 / 0.8 / 2.5 / 8.0 (mm) 或自定义cut-off

测针分辨率   

全量程内可选 30nm /12nm/6nm

滤波  

RC；Gauß；Formfilter

轮廓参数依据
DIN EN ISO 4287标准
JIS B-0601

Pp; Pv; Pz; Pc; Pa; Pq; PSm; Pdq; Pdc; Pt; Pku; Psk; Pmr

波纹度参数依据
DIN EN ISO 4287标准
JIS B-0601

Wp; Wv; Wz; Wc; Wa; Wq; WSm; Wdq; Wdc; Wt; Wku; Wsk; Wmr

粗糙度参数依据
DIN EN ISO 4287标准
JIS B-0601

Ra; Rz; Rp; Rv; Rc; Rq; RSm; Rdq; Rdc; Rt; Rku; Rsk; Rmr

粗糙度参数依据
DIN EN ISO 13565-2标准

Mr1; Mr2;  A1; A2; Rpk; Rvk; Rk

Motif 汽车行业标准
DIN EN ISO 12085标准

AW; W; Wx; Wt; AR; R; Rx

产品名称

VC10

VC10EL

VC10UL

LC10

Z轴测量范围

225 mm

325 mm

425 mm

225mm(275mm可选）

X轴测量范围

225 mm

325 mm

425 mm

225mm(270mm可选）

X轴Z轴全量程分辨率

0.002µm

0.02µm

测量精度

+/-(0.5+L/100)µm 
轮廓测量误差：0.01%-1%(玻璃标准半球)

轮廓测量误差：0.01%-1%(玻璃标准半球)，测量精度 ：+/- (1.5+L/100)µm

针尖分辨率

小于3nm

小于30nm

测量系统

CNC控制X / Z / T轴高精度增量光栅测量系统

测量力(软件可自动调节)

0 -150 mN

10 -150 mN

测量速度

0.1 - 2mm/s 软件动态调节佳测量速度

取样长度

0.008/0.025/0.08/0.25/0.8/2.5/8(mm) 或自定义

测量长度

1-10 倍截取长度或自定义测量长度

滤波

Gaussian; 2RC; λs-Filter

放大倍数

标尺 1:1 至 5000:1

可选针尖半径

0.002mm 至 1mm

爬坡能力

上坡78 下坡87

校准器

标准配置并带有校准证书

测量工作台

3 种高度 30/50/70mm，3 种行程 25/50/75mm 机械/电动/CNC控工作台可选

基座mm

950 x 380 x 725

1150 x 380 x 725

1150 x 380 x 725

950 x 380 x 725

重量                                            

150 kg

180 kg

200 kg

150 kg