型    号

TOPOS 50

TOPOS 100

测量范围(直径)

50mm

100mm

参考平面平面度

优于0.06µm

参考面材料

石英玻璃

灵敏度

0.512或4µm每纹

精度

(0.1¡­0.4)um + 2%x测量值 基于灵敏度

Z轴波动范围

低于100um 表面斜度所限制

FLTt重复性

优于0.01µm1)

分辨率

优于0.01µm

数据采集量

300000点

测量时间

小于2s

整体尺寸

560mm X 300mm X 400mm

680mm X 440mm X 880mm

重量

34kg

80kg