型     号

VI2010

VI3030

VI6040

VIB9060

VIB1210

测量范围

X

200mm

300mm

600mm

600mm

1000mm

Y

100mm

300mm

400mm

600mm

1000mm

Z

155mm

155mm

155mm

200/500mm

200/500mm

大允许误差(光学)

E(X Y)=(1.8+L/100)µm

大允许误差

E Z=(2.8+L/100)µm

工作台面积

457 x 336mm

557 x 534mm

工件大重量

25kg

XY轴驱动类型

CNC，电动，带手动摇杆，快速移动

摄像系统

CCD相机，分辨率752x582，480TVL PAL 制式

放大倍数

使用标准镜头30x£­200x，使用附加0.5x及2.0x镜头 15-400x