型  号

Inspector FQ

测量范围

(X-轴)

400-1000mm

(Y-轴)

400-1000mm

(Z-轴)

200-400mm        

大允许测量误差

(E1单轴精度）

(2.5+L(mm)/120)µm

(E2平面精度）

(2.9+L(mm)/100)µm

(E3空间精度）

(4.5+L(mm)/100)µm

固定镜头

0.2X-100X

分辨率

0.2µm

工作台承重

150kg（300kg可选）

定位速度

1m/s

加速度

10m/s²

频率

48-62Hz

仪器重量

1500-6000kg

精度保证环境条件

20℃±2 ^o Δ=1^o/h

适用温度

10-35℃