型   号

Scopecheck FB固定桥式

测量范围

(X轴)

400～1500mm(可选)

(Y轴)

400～1000mm(可选)

(Z轴)

150～300mm(可选)

¹⁾大允许测量误差

(E1单轴精度）

(1.5+L(mm)/200)µm 

(E2平面精度）

(1.9+L(mm)/150)µm

(E3空间精度）

(2.9+L(mm)/100)µm

²⁾大允许测量误差

(E1单轴精度）

(1.8+L(mm)/120)µm

(E2平面精度）

(2.0+L(mm)/100)µm

(E3空间精度）

(3.5+L(mm)/100)µm

分辨率

0.1µm

工作台承重

50kg

定位速度

100mm/s

加速度

250mm/s²

仪器重量

1000-3500kg

适用温度

10-40℃

¹⁾精度保证环境条件

20℃±1^o Δ=0.5^o/h  

²⁾精度保证环境条件

20℃±2^o Δ=1^o/h  

精度光学放大倍率

5X