型　　号

VideoCheck-IP

VideoCheck IP Basic

测量范围

(X轴)

400～3500mm(可选)

400～3500mm(可选)

(Y轴)

400～1750mm(可选)

400～1750mm(可选)

(Z轴)

200/300/400/600mm

200～800mm(可选)

大允许测量误差¹⁾

(E1单轴精度）

(0.50+L(mm)/500)µm

(0.95+L(mm)/500)µm

(E2平面精度）

(0.95+L(mm)/400)µm

(1.50+L(mm)/400)µm

(E3空间精度）

(1.50+L(mm)/300)µm

(1.80+L(mm)/300)µm

大允许测量误差²⁾

(E1单轴精度）

(0.50+L(mm)/350)µm

(0.95+L(mm)/350)µm

(E2平面精度）

(0.95+L(mm)/350)µm

(1.50+L(mm)/350)µm

(E3空间精度）

(1.50+L(mm)/250)µm

(1.80+L(mm)/250)µm

分辨率

0.05µm

0.1µm

工作台承重

150kg(300kg可选)

150kg(300kg可选)

定位速度

300mm/s

300mm/s

加速度

1m/s²

1m/s²

频率

48-62Hz

48-62Hz

气压

7-10 bar

7-10 bar

功耗

2500VA

2500VA

仪器重量

1000-6000kg

1000-6000kg

精度保证环境条件¹⁾

20℃±1 ^o Δ=0.5 ^o/h

20℃±1 ^o Δ=0.5 ^o/h

精度保证环境条件²⁾

20℃±2 ^o Δ=1 ^o/ h

20℃±2 ^o Δ=1 ^o/h

精度光学放大倍率

10X

10X

湿度

40-70rel.

40-70rel.

空气指标

max.0.05mg/m³

max.0.05mg/m

适用温度

10-35℃

10-35℃