型 号

VideoCheck-UA

测量范围

(X轴)

400mm

(Y轴)

400mm

(Z轴)

200mm

大允许测量误差¹⁾

(E1单轴精度）

(0.15+L(mm)/900)µm

(E2平面精度）

(0.50+L(mm)/600)µm

(E3空间精度）

(0.75+L(mm)/500)µm

大允许测量误差²⁾

(E1单轴精度）

(0.15+L(mm)/500)µm

(E2平面精度）

(0.50+L(mm)/400)µm

(E3空间精度）

(0.75+L(mm)/300)µm

分辨率

0.001µm

工作台承重

150kg(300kg可选)

定位速度

60mm/s

加速度

50mm/s²

频率

48-62Hz

气压

7-10 bar

功耗

2500VA

仪器重量

1000kg

精度保证环境条件¹⁾

20℃±0.1 ^o Δ=0.1^o/h

精度保证环境条件²⁾

20℃±1 ^o Δ=0.5 ^o/h

精度光学放大倍率

20X

湿度

40-70rel.

空气指标

max.0.05mg/m³

适用温度

10-35℃